Àü±Ø Ç¥¸é¿¡ µÎ²² 15³ª³ë¹ÌÅÍ(nm)ÀÇ ÃÊ±Ø¹Ú Àΰø °íºÐÀÚÃþÀ» µµÀÔÇÑ ¸ð½À(KAIST Á¦°ø) /´º½º1
(´ëÀü=´º½º1) ±èÁ¾¼ ±âÀÚ = Àü±âÂ÷¿Í µå·Ð, Â÷¼¼´ë °í¼º´É ¹èÅ͸® È帷ΠÁÖ¸ñ¹Þ¾Æ ¿Â ¹«À½±Ø ¸®Æ¬ ±Ý¼Ó ÀüÁö´Â ±âÁ¸ ¸®Æ¬ÀÌ¿ÂÀüÁöº¸´Ù ¿¡³ÊÁö ¹Ðµµ°¡ ÈξÀ ³ôÁö¸¸, ªÀº ¼ö¸í ¹®Á¦·Î »ó¿ëÈ¿¡ ¾î·Á¿òÀ» °Þ¾î ¿Ô´Ù. ±¹³» ¿¬±¸ÁøÀÌ ÀüÇØÁúÀ» ¹Ýº¹ÀûÀ¸·Î ¹Ù²ã¾ß Çß´ø ±âÁ¸ Á¢±Ù¿¡¼ ¹þ¾î³ª Àü±Ø Ç¥¸é ¼³°è¸¸À¸·Î ¹èÅ͸® ¼ö¸íÀ» ȹ±âÀûÀ¸·Î ´Ã¸®´Â µ¥ ¼º°øÇß´Ù.
Çѱ¹°úÇбâ¼ú¿ø(KAIST)Àº »ý¸íÈÇаøÇаú ÀÌÁø¿ì¡¤ÀÓ¼º°© ±³¼ö ¿¬±¸ÆÀÀÌ Àü±Ø Ç¥¸é¿¡
»ÇºüÀ̸±°ÔÀÓ µÎ²² 15³ª³ë¹ÌÅÍ(nm)ÀÇ ÃÊ±Ø¹Ú Àΰø °íºÐÀÚÃþÀ» µµÀÔÇØ ¹«À½±Ø ±Ý¼Ó ÀüÁöÀÇ ÃÖ´ë ¾àÁ¡ÀÎ °è¸é ºÒ¾ÈÁ¤¼º ¹®Á¦¸¦ ±Ùº»ÀûÀ¸·Î ÇØ°áÇß´Ù°í 4ÀÏ ¹àÇû´Ù.
¹«À½±Ø ±Ý¼Ó ÀüÁö´Â À½±Ø¿¡ Èæ¿¬À̳ª ¸®Æ¬ ±Ý¼Ó ´ë½Å ±¸¸® ÁýÀüü¸¸ »ç¿ëÇÏ´Â ´Ü¼ø ±¸Á¶¸¦ °®´Â´Ù. ±âÁ¸ ¸®Æ¬ÀÌ¿ÂÀüÁö ´ëºñ 30~50% ³ôÀº ¿¡³ÊÁö ¹Ðµµ, ³·Àº Á¦Á¶ ºñ¿ë, °øÁ¤ ´Ü¼øÈ¶ó´Â ÀåÁ¡ÀÌ
¹Ù´ÙÀ̾߱â°ÔÀÓ2 ÀÖ´Ù. ´Ù¸¸ Ãʱâ ÃæÀü °úÁ¤¿¡¼ ¸®Æ¬ÀÌ ±¸¸® Ç¥¸é¿¡ Á÷Á¢ ½×À̸ç ÀüÇØÁúÀÌ ºü¸£°Ô ¼Ò¸ðµÇ°í ºÒ¾ÈÁ¤ÇÑ º¸È£¸·(SEI)ÀÌ Çü¼ºµÅ ¼ö¸íÀÌ ±Þ°ÝÈ÷ ÁÙ¾îµå´Â ¹®Á¦°¡ µÚµû¸¥´Ù.
¿¬±¸ÆÀÀº ÀüÇØÁú Á¶¼ºÀ» ¹Ù²Ù´Â ´ë½Å ¹®Á¦°¡ ½ÃÀ۵Ǵ Àü±Ø Ç¥¸é ÀÚü¸¦ ¼³°èÇÏ´Â Àü·«À» ¼±ÅÃÇß´Ù. °³½ÃÁ¦ ±â¹Ý ÈÇÐÁõÂø(iCVD) °øÁ¤À» ÀÌ¿ëÇØ ±¸¸® ÁýÀüü À§¿¡ ±ÕÀÏÇÑ Ãʹڸ·
¹«·á¸±°ÔÀÓ °íºÐÀÚÃþÀ» Çü¼ºÇÑ °á°ú, ÀÌ ÃþÀÌ ÀüÇØÁú°úÀÇ »óÈ£ÀÛ¿ëÀ» Á¶ÀýÇØ ¸®Æ¬ À̿ À̵¿°ú ÀüÇØÁú ºÐÇØ °æ·Î¸¦ Á¤¹ÐÇÏ°Ô Á¦¾îÇÏ´Â °ÍÀ¸·Î ³ªÅ¸³µ´Ù.
±âÁ¸ ÀüÁö¿¡¼´Â ÀüÇØÁú ¿ë¸Å°¡ ºÐÇØµÇ¸ç ºÎµå·´°í ºÒ¾ÈÁ¤ÇÑ À¯±â¹° º¸È£¸·ÀÌ Çü¼ºµÅ ¸®Æ¬ÀÌ °í¸£°Ô ½×ÀÌÁö ¾Ê°í °¡½Ãó·³ »ÏÁ·ÇÑ ¼öÁö»óÀÌ ½±°Ô ÀÚ¶ú´Ù. ¹Ý¸é À̹ø ¿¬±¸¿¡¼ °³¹ßµÈ °íºÐÀÚÃþÀº ÀüÇØÁú ¿ë¸Å¿Í Àß
¾ß¸¶Å丱°ÔÀÓ ¼¯ÀÌÁö ¾Ê¾Æ ¿ë¸Å ´ë½Å ¿° ¼ººÐÀÇ ºÐÇØ¸¦ À¯µµÇß´Ù. ±× °á°ú ´Ü´ÜÇÏ°í ¾ÈÁ¤ÀûÀÎ ¹«±â¹° º¸È£¸·(SEI)ÀÌ Çü¼ºµÇ¸ç ÀüÇØÁú ¼Ò¸ð¿Í °úµµÇÑ º¸È£¸· ¼ºÀåÀÌ µ¿½Ã¿¡ ¾ïÁ¦µÆ´Ù.
¿¬±¸ÁøÀº ¿ÀÆä¶õµµ ¶ó¸¸ ºÐ¼®°ú ºÐÀÚµ¿¿ªÇÐ(MD) ½Ã¹Ä·¹À̼ÇÀ» ÅëÇØ ÀüÁö ÀÛµ¿ Áß Àü±Ø Ç¥¸é¿¡ À½ÀÌ¿ÂÀÌ Ç³ºÎÇÑ È¯°æÀÌ Çü¼ºµÇ°í À̰ÍÀÌ ¾ÈÁ¤ÀûÀÎ ¹«±â¹° º¸È£¸· »ý¼ºÀ¸·Î À̾îÁø´Ù´Â
¸±°ÔÀÓ»çÀÌÆ® ¸ÞÄ¿´ÏÁòÀ» ±Ô¸íÇß´Ù.
À̹ø ±â¼úÀº ÀüÇØÁú Á¶¼º º¯°æ ¾øÀÌ Àü±Ø Ç¥¸é¿¡ ¾ãÀº Ãþ¸¸ Ãß°¡ÇÏ´Â ¹æ½ÄÀ¸·Î, ±âÁ¸ °øÁ¤°úÀÇ È£È¯¼ºÀÌ ³ô°í ºñ¿ë ºÎ´ãµµ Àû´Ù. ƯÈ÷ iCVD °øÁ¤Àº ·ÑÅõ·Ñ ¹æ½ÄÀÇ ´ë¸éÀû ¿¬¼Ó »ý»êÀÌ °¡´ÉÇØ ¿¬±¸½Ç ¼öÁØÀ» ³Ñ¾î »ê¾÷Àû ´ë·® »ý»ê¿¡ ÀûÇÕÇÏ´Ù.
ÀÌ ±³¼ö´Â "À̹ø ¿¬±¸´Â »õ·Î¿î ¼ÒÀç °³¹ßÀ» ³Ñ¾î Àü±Ø Ç¥¸é ¼³°è¸¦ ÅëÇØ ÀüÇØÁú ¹ÝÀÀ°ú °è¸é ¾ÈÁ¤¼ºÀ» Á¦¾îÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù´Â ¼³°è ¿ø¸®¸¦ Á¦½ÃÇß´Ù´Â Á¡¿¡¼ Àǹ̰¡ Å©´Ù"¸ç "Àü±âÂ÷¿Í ¿¡³ÊÁöÀúÀåÀåÄ¡(ESS) µî Â÷¼¼´ë °í¿¡³ÊÁö ¹èÅ͸® ½ÃÀå¿¡¼ ¹«À½±Ø ¸®Æ¬ ±Ý¼Ó ÀüÁö »ó¿ëȸ¦ ¾Õ´ç±æ ¼ö ÀÖ´Â ±â¼ú"À̶ó°í ¸»Çß´Ù.
KAIST »ý¸íÈÇаøÇаú ÀÌÁÖÇö ¹Ú»ç°úÁ¤»ý°ú ±èÁø¿í ¹Ú»çÈÄ ¿¬±¸¿øÀÌ °øµ¿ Á¦1 ÀúÀÚ·Î Âü¿©ÇÑ À̹ø ¿¬±¸ °á°ú´Â ¿¡³ÊÁö ºÐ¾ß ±¹Á¦ÇмúÁö 'ÁÙ(Joule)'¿¡ °ÔÀçµÆ´Ù.
jongseo12@news1.kr