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Çѱ¹Àο¡°Ô ¡®¹ÚÁö¼ºÀÇ Ã¹ À¯·´ ¹«´ë¡¯·Î À¯¸íÇÑ ¿¡ÀÎÆ®È£¹øÀº ³×´ú¶õµåÀÇ ¡®¹ÌµéÆÄ¿ö¡¯¸¦ »ó¡ÇÏ´Â µµ½Ã´Ù. 1891³â Çʸ³½º°¡ ù Àü±¸ °øÀåÀ» ¼¼¿î ÀÌÈÄ 134³â µ¿¾È ³×´ú¶õµå ÀüÀÚ¡¤Á¤¹Ð°øÇÐÀÇ Á¤¼ö°¡ À̰÷¿¡¼ ÃàÀûµÆ´Ù. ±Û·Î¹ú ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷°è´Â ¿¡ÀÎÆ®È£¹øÀ» Àα٠º§Æ®È£¹ø°ú ÇÔ²² ¡®ASML »ýŰ衯·Î ºÎ¸£±âµµ ÇÑ´Ù. ³×´ú¶õµå´Â ±ØÀڿܼ± ³ë±¤Àåºñ(EUV)¶ó´Â °·ÂÇÑ ¡®º´¸ñ ±â¼ú¡¯ Çϳª·Î ¹Ì¡¤Áß ¾î´À °÷¿¡µµ ±¼º¹ÇÏÁö ¾Ê´Â À§»óÀ» ±»°ÇÇÏ°Ô Áö۰í ÀÖ´Ù.
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¹Ù´ÙÀ̾߱â·ê Áغñ ÁßÀÌ´Ù. ±¤(ÎÃ)¹ÝµµÃ¼(Æ÷Åä´Ð½º)¸¦ Â÷¼¼´ë ±â¼ú·Î ³«Á¡Çϰí, Áß±¹ÀÌ EUV ÀÚ¸³¸¶Àú ¼º°øÇÏ´Â ÃÖ¾ÇÀÇ ½Ã³ª¸®¿À¿¡ ´ëºñÇϱ⠽ÃÀÛÇß´Ù. ³×´ú¶õµå Á¤ºÎ´Â ¡®¼¼¹ÌÄÁº¸µåNL¡¯À̶ó´Â ¹Î°ü Çùµ¿ ¹ÝµµÃ¼Àü·«Á¶Á¤±â±¸¸¦ 2025³â 1¿ù Ãâ¹ü½ÃÄ×´Ù. À̵éÀÇ Áú¹®Àº ¸íÈ®ÇÏ´Ù. ¡®EUV·Î ¹ø µ·À» ¾î¶² ¹Ì·¡¿¡ ÅõÀÚÇÒ °ÍÀΰ¡¡¯ ¡®¹Ì±¹ÀÇ EUV ¼öÃâ ÅëÁ¦¿¡¼ ¹þ¾î³ª°Ô ÇØ ÁÙ Â÷¼¼
¿À¼ÇÆÄ¶ó´ÙÀ̽º¿¹½Ã ´ë ¹ÝµµÃ¼ ±â¼úÀº ¹«¾ùÀΰ¡¡¯´Ù.
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VDL-ETG´Â ±¤¹ÝµµÃ¼ »ýŰ踦 ±¸ÃàÇÏ·Á´Â ³×´ú¶õµåÀÇ ÀÇÁö¸¦ °¡Àå Àß º¸¿©ÁÖ´Â °÷ÀÌ´Ù. ASMLÀÌ 900¿© °³ Çù·Â»ç Áß ÃÖ¿ì¼± Àü·« ÆÄÆ®³Ê·Î Æò°¡ÇÏ´Â ±â¾÷ÀÌ´Ù. ³ë±¤Àåºñ°¡ ºûÀ» Ȱ¿ëÇØ ³ª³ë
¹Ù´ÙÀ̾߱⿹½Ã (§¬) ´ÜÀ§ ¹Ì¼¼È¸·Î¸¦ »õ±â·Á¸é ¾ÆÁÖ ÀÛÀº ¸¶Âû°ú Áøµ¿¸¶Àú ¾ø¾Ö´Â ¹°¸®Àû Á¦Á¶ ¿ª·®ÀÌ Çʼö´Ù. ASMLÀÌ È¸·Î¸¦ »õ±â´Â ¡®µÎ³ú¡¯¶ó¸é VDL-ETG´Â ±× µÎ³ú¸¦ ¶°¹ÞÄ¡´Â ±ÙÀ°ÀÌÀÚ °ñ°ÝÀÎ ¼ÀÀÌ´Ù. Áö³ 11¿ù ½ºÈ÷Æú °øÇ׿¡¼ ±âÂ÷·Î 1½Ã°£30ºÐ°¡·®À» ´Þ·Á ¿¡ÀÎÆ®È£¹ø º»»ç¿¡¼ ¸¸³ VDL-ETG °ü°èÀÚ´Â ¡°ÀÚ±âºÎ»ó ±â¹ÝÀÇ ±ØÃÊÁ¤¹Ð ¿þÀÌÆÛ ÀÌ¼Û ½Ã½ºÅÛÀÌ Â÷¼¼´ë ÇÙ
¹é°æ¸±°ÔÀÓ ½É ±â¼ú¡±À̶ó°í ¼Ò°³Çß´Ù.
±âÁ¸ ¹ÙÄû¡¤·¹ÀÏ ¹æ½ÄÀº ±¸Á¶ÀûÀ¸·Î ¸¶Âû°ú Áøµ¿, ¹Ì¼¼¸ÕÁö¸¦ ¿ÏÀüÈ÷ Á¦°ÅÇÒ ¼ö ¾ø´Ù. 3§¬ ÀÌÇÏ Ãʹ̼¼ °øÁ¤¿¡¼± °ð¹Ù·Î ¼öÀ² ºØ±«·Î À̾îÁø´Ù. ÀÚ±âºÎ»ó ¹æ½ÄÀº ¿þÀÌÆÛ¸¦ ½ÇÀº Ç÷§ÆûÀÌ ¹Ù´Ú°ú Á¢ÃËÇÏÁö ¾ÊÀº ä ÀÚ·ÂÀ¸·Î ¶°¼ À̵¿ÇÒ ¼ö ÀÖ°Ô ¸¸µç ±â¼úÀÌ´Ù. ¸¶ÂûÀº ¡®0¡¯¿¡ ¼ö·ÅÇϰí, Áøµ¿°ú ¸ÕÁö ¹ß»ýÀº ¿øÃµ Â÷´ÜµÈ´Ù.
¸±°ÔÀÓ¹Ù´ÙÀ̾߱â ÀÌ ±â¼úÀÇ Àǹ̴ EUV ³ë±¤ °øÁ¤¿¡ ±¹ÇѵÇÁö ¾Ê´Â´Ù. ±¤¹ÝµµÃ¼ ½Ã´ë¸¦ ¿±â À§ÇØ ¹Ýµå½Ã ÇÊ¿äÇÑ ¡®Á¤¹Ð Á¦¾î ÀÎÇÁ¶ó¡¯¿©¼´Ù. ¹ÝµµÃ¼¾÷°è °ü°èÀÚ´Â ¡°±¤¹ÝµµÃ¼´Â ÀüÀڹݵµÃ¼º¸´Ù ÈξÀ ¹Î°¨ÇÏ´Ù¡±¸ç ¡°ºûÀÇ À§»ó¡¤°£¼·¡¤Á¤·Ä ¿ÀÂ÷´Â ³ª³ë¹ÌÅͰ¡ ¾Æ´Ï¶ó ÇÇÄÚ¹ÌÅÍ ´ÜÀ§¿¡¼ °ü¸®µÅ¾ß Çϸç, ¹Ì¼¼ÇÑ Áøµ¿À̳ª ¿Âµµ º¯È¸¸À¸·Îµµ ¼º´ÉÀÌ ±Þ°ÝÈ÷ ÀúÇϵȴ١±°í ¼³¸íÇß´Ù.
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³×´ú¶õµå°¡ ±¤¹ÝµµÃ¼·Î Àü·« ÃàÀ» À̵¿ÇÏ·Á´Â °ÍÀº Áß±¹ÀÇ Ãß°ÝÀ» µûµ¹¸®°í, ¹Ì±¹ÀÇ °£¼·¿¡¼ ¹þ¾î³ª±â À§Çؼ´Ù. ÀΰøÁö´É(AI) °æÀï ±¸µµ°¡ ´ë±Ô¸ð ¿¬»ê¡¤ÇнÀ¿¡¼ »ç¶÷ó·³ Ãß·ÐÇÏ°í ¹°¸®Àû ¼¼°è¸¦ ÀνÄÇÒ ¼ö ÀÖ´Â AI·Î À̵¿ÇÏ´Â È帧Àº ³×´ú¶õµå¿¡ È£Àç·Î ÀÛ¿ëÇϰí ÀÖ´Ù. ¼öõ¡¤¼ö¸¸ °³ÀÇ Ä¨°ú ¼¹ö¸¦ ¾ó¸¶³ª ºü¸£°í È¿À²ÀûÀ¸·Î ¿¬°áÇÏ´À³Ä°¡ AIÀÇ ¼º´É°ú Àü·Â È¿À²À» Á¿ìÇϱ⠶§¹®ÀÌ´Ù. ÀÌ ÁöÁ¡¿¡¼ ÁÖ¸ñ¹Þ´Â ±â¼úÀÌ ±¤¹ÝµµÃ¼´Ù.
°Ô´Ù°¡ TSMC, »ï¼ºÀüÀÚ, ÀÎÅÚ µî ¼¼°è ÃÖ° ÆÄ¿îµå¸® ±â¾÷µéÀº ¾ÆÁ÷ ±¤¹ÝµµÃ¼ ºÐ¾ß¿¡¼ Àý´ëÀû ¿ìÀ§¸¦ È®º¸ÇÏÁö ¸øÇϰí ÀÖ´Ù. ¹ÝµµÃ¼¾÷°è °ü°èÀÚ´Â ¡°±¤¹ÝµµÃ¼´Â Ãʱ⠽ÃÀåÀÌ¾î¼ µ¥ÀÌÅͼ¾ÅÍ, °í¼º´ÉÄÄÇ»ÆÃ(HPC), ±¹¹æ µî Àü·«ÀûÀÌÁö¸¸ ¾ÆÁ÷ ±Ô¸ð°¡ Á¦ÇÑÀûÀÎ ºÐ¾ß¿¡ ÁÖ·Î Àû¿ëµÈ´Ù¡±¸ç ¡°»ï¼º °°Àº ¹Î°£ ±â¾÷ÀÌ °ú°¨È÷ ¶Ù¾îµé±â¿£ ¾î·Á¿î ½ÃÀ塱À̶ó°í ÁöÀûÇß´Ù.
¡®ASML º¸À¯±¹¡¯ ³×´ú¶õµå´Â ÀÌ °°Àº ±âȸ ¿äÀÎÀ» ±¹°¡ Àü·« Â÷¿øÀ¸·Î ²ø¾î¿Ã¸®°í ÀÖ´Ù. ¿¡ÀÎÆ®È£¹øÀ» Áß½ÉÀ¸·Î ÇÑ ºê·¹ÀÎÆ÷Æ® Áö¿ª¿¡¼ ±¤ÇС¤Á¤¹Ð±â°è¡¤¹ÝµµÃ¼ Àåºñ ±â¾÷À» ¹¾î ±¤¹ÝµµÃ¼¸¦ ¿Ï°áÇü »ê¾÷ »ýŰè·Î À°¼ºÇÏ·Á´Â Àü·«ÀÌ´Ù. ÀÌ °°Àº º¯È´Â ´ëÇп¡¼ºÎÅÍ ³ªÅ¸³ª°í ÀÖ´Ù. µ¨ÇÁÆ®°ø´ë, ¿¡ÀÎÆ®È£¹ø°ø´ë µî¿¡¼ ÃÖ±Ù ¹°¸®Çаú ±¤ÇÐÀÌ Àü±â¡¤ÀüÀÚ°øÇÐ ¸øÁö¾Ê°Ô ÁÖ¸ñ¹Þ±â ½ÃÀÛÇß´Ù. Çʸ³½ºÀÇ ¹°¸® ¿¬±¸¼Ò ³ªÆ¢¸£Äý´õÈå(NatLab)¿¡¼ ½ÃÀÛµÈ ¹°¸®ÇÐ ÀüÅëÀº ÀÌÁ¦ ¹ÝµµÃ¼¡¤Æ÷Åä´Ð½º¡¤¾çÀÚ ±â¼ú·Î À̾îÁö°í ÀÖ´Ù. ÇöÀå¿¡¼ È®ÀÎÇÑ °ÍÀº ºÐ¸íÇß´Ù. ³×´ú¶õµå´Â ´õ ÀÌ»ó ÀüÅëÀûÀÎ Àü±âÀüÀÚ°øÇÐ ±¹°¡°¡ ¾Æ´Ï´Ù. ±¤ÀÚ¿Í ¾çÀÚÀÇ ½Ã´ë·Î °¡´Â ¡®¹°¸®ÇÐ ±¹°¡¡¯·Î ÁøÈÇÏ¸ç ¹Ì¡¤Áß ¾î´À Âʵµ ¹«½ÃÇÒ ¼ö ¾ø´Â º´¸ñ ±â¼úÀ» º¸À¯ÇÑ ±¹°¡·Î ÀÔÁö¸¦ ±»È÷°í ÀÖ´Ù.
¿¡ÀÎÆ®È£¹ø=°°æÁÖ ±âÀÚ qurasoha@hankyung.com